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SK海力士:采用GWP为0的F2气体替代三氟化氮详细阅读
【SK海力士推进环保举措,替换芯片生产清洁气体】SK海力士近日宣布,已在部分芯片生产的清洁工艺中采用更环保的气体。公司测试并实施了以全球变暖潜值较低的气体替代三氟化氮(NF3 的方案。目前,SK海力士...
2024-07-25 83 氟化
【SK海力士推进环保举措,替换芯片生产清洁气体】SK海力士近日宣布,已在部分芯片生产的清洁工艺中采用更环保的气体。公司测试并实施了以全球变暖潜值较低的气体替代三氟化氮(NF3 的方案。目前,SK海力士...
2024-07-25 83 氟化